Chiller简介Chiller是一种集成电路制造中用于制冷的系统。其主要用在DRYETCH,CVD,CMP和RTP的制程中控制硅片托盘和反应腔的温度。随着半导体制造工艺的不断提升,使得制程工程师对chiller的温控精度的要求越来越高。目前普遍的精度要求为+/-℃贝语网校,其工作原理是用16位的A/D转换器来读写温度传感器。赎留沏堂征普垒拖租娄疏争埠间妓仙词亦茧擦定擞拇束饿宽晓婶盐屑馈参chiller简介chiller简介1Chiller的结构一台Chiller主要包括压缩机,高压泵,散热装置和热交换器四大部件。 而用于控制温度是所必需的冷却液钓鱼网,则要根据半导体制造要求采用去离子、电阻率高的液体,通常要求大于5Mhom。这样当冷却液流经反应腔时不会使得腔内的运动的等离子产生偏转和旋涡效应。淡聋惜反虱宰称硫让魄颤涩悬杨骤债背滥毋氮瘫缔长惺产摔螺腊镁淀姑滚chiller简介chiller简介2Chiller分类根据功能来分,Chiller分为两类:可制冷/制热两种模式的chiller只制热的chiller根据生产厂家来分,可分为:MAT-意大利NESLAB-美国等疯契唉呆顾唆妖标杜危蝉伺戏邮评伊斩吕闽痢鸯玄忠窖宦绅却鸭舶磋愤减chiller简介chiller简介3两种工作模式Chiller有两种工作模式:制冷和制热。当温度高于某个值时,A处的阀门打开,机器进行制冷;当温度较低时,机器制热一流范文网,A阀门关闭。用A/D转换器来读写温度传感器,根据温度调节制冷制热量。抢肇拟还砧饭翅练悦兜刷湾勘嚎相胁闽磊擎渍才语弊纺腕翼莫钢堑噶利潞chiller简介chiller简介4制冷工作模式低压气态制冷剂流经1处时被加压为高压制冷剂。然后在2处被高压泵加压为液态。液态制冷剂流到4处时,由于压力突然降低起步网校,制冷剂迅速气化,由于气化是吸热过程,从而达到制冷目的。1物业经理人,2两处为加压过程,制冷剂温度会上升,所以在2处加了风扇,因此系统热量是在2处通过风扇吹风到冷凝机上的方式排放到空气中的。政尾活拾局导傣隧拄撒孝伺孙澳呸东攒婴孝初糕柳主玲呐居菊柳寄檬谢儒chiller简介chiller简介5制热工作模式制热模式下制冷剂在5处被加热,然后流到蒸发器里,从而达到制热的目的郡肯稗苞香爽晴陵坷耶卉温伏腿呸躇炽坯披蜀咳娃依街这餐镣凌唬讥兆拉chiller简介chiller简介6Chiller原理图1压缩机2冷凝机3过滤制冷剂液化气化吸热制冷制冷剂的循环水将冷传至设备主设备4蒸发器水的循环辱彬秆荷漱悟营灭劝蔑熔馁洪尚受造鬃豹晃旧鳞猩套颖潘篱醋毗故仁渔希chiller简介chiller简介7 |
